airshower

こだわり

UVライト

私たちが製造しているウェハー搬送機器(半導体搬送機器)は、精密機器です。ホコリやゴミは、それらの歩留まり低下を引き起こす原因の一つです。 ホコリやゴミの中には、一般環境では目に見えない、もしくは見えにくいものももあります。それらのホコリやごみの中には、UVライトを当てることで見えるものもあります。


私たちは、UVライトを使用して部品の掃除をします。そして、ウェハ搬送経路のパーティクル(ホコリや塵)"ゼロ"を目指します。


クリーンルーム

パワーシステムサービスのクリーンルームは、清浄度クラス1,000(JIS ISOクラス6)とクラス10,000(JIS ISOクラス7)


クラス1,000は、雲の上と同じ清浄度です。クラス10,000は、海上と同じ清浄度です。イメージがつきにくいかもしれませんが、手術室でもクラス5000。


清浄度レベルクラス1000は、三河でトップクラスのレベルです。


私たちがつくっているウェハー搬送機器(半導体搬送機器)は、ホコリやゴミが入るとすぐダメになってしまう精密な機器です。(ウェハーとはICチップに使われる半導体のこと。)ホコリやゴミが入ってはいけない製品だからこそ、 清潔さは徹底しています。)


パーティクルカウンター

パーティクルとは、簡単にいうとゴミのことです。塵・ホコリ・異物・ダストを意味します。


クリーンルームの清浄度を管理するために、定期的にパーティクルカウンターを使用し、パーティクル数を測定しています。


清浄度とは、広く慣用されている米国連邦規格では、1立方フィートあたりの空気に、0.5 μm以上の塵埃(微粒子)の数量で表します。

1,000個以下はクラス1,000、10,000個以下はクラス10,000。数字が小さい程ゴミの無い空間になります。


パワーシステムサービスには、クラス1,000とクラス10,000のクリーンルームがあります。清浄度の高い空間で、ウェハー搬送機器(半導体搬送機器)の製造を手掛けています。


クリーン教育

パワーシステムサービスでは、クリーン教育を実施しています。


私たちが組み立てる半導体搬送機器は、ホコリやゴミが入るとすぐダメになってしまう精密機器です。ホコリやゴミが入ってはいけない製品だからこそ、 清潔さは徹底しています。


組立作業は、クリーンスーツを着用し、クリーンルームで行われます。(クリーンルームとは、作業空間内のホコリやゴミを限定した数に清浄度(クラス)を管理する部屋です。)

クリーンルームで作業をする前に、クリーン教育を行います。そして、クリーンルームの環境を維持しています。(定期的にパーティクルカウンタを使用して、指定の場所で、パーティクル(ホコリや塵)の数を測定しています。)